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产品特性：

 •    金属,合金,非金属,化合物等材料的高品质蒸发镀膜                                                 

 •    镀膜精度高,可达10E-10m

 •    蒸发镀膜的纯度高,附着力强

 •    镀膜的均匀性好,重复性优异

 •    配置离子源进行表面处理                           

 •    配置热阻蒸发,省材料

 •    上位通信,材料扫描功能                                    

 •    C2～12inch,不定型片,方片蒸发

 

产品应用：

 •    功率器件

 •    LED

 •    光通信/传感器     

 •    LD   

 •    高校及研究所等