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产品特性：
 • 通过利用常规过程数据和专有技术重新设计了易用性
 • 通过在负载锁定室中安装暗盒机构（可选）来提高生产率
 • zui大基板传送尺寸为Φ300mm（在中心Φ200mm处保证了厚度分布）。
 • 支持堆叠/同时溅射多个阴极
 • 通过触摸屏和配方输入自动处理，节省了人工
 • 可以记录数据

产品应用：
• 电极成膜/多层电极及同时成膜应用
• 形成狄登膜，绝缘膜，钝化膜，保护膜等
• 用于电子零件和小规模生产的研发