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产品简介：
它是一种多室型溅射装置，可以配备多个处理室（*多3个腔室200E，*多5个腔室200J和*多7个腔室200）                                     

产品特性：
 • 可运输Φ200mm板
 • 作为处理室的各种模块的阵容
 • 介电模块
 • 高温成膜模块
 • 精密分配模块
 • 蚀刻模块

产品应用：
 • 电子零件
 • 微机电系统
 • 动力装置
 • 发光二极管