1.低蒸气压 蒸气压低，回油少，可维持高真空。 2.可靠性 排气速度快，可以很快到达目标压力。另蒸发潜热小、工业电力范围广，可减少电力消费量。 3.安定性 耐热、耐氧化、耐放射线、耐活性气体等安定性好，可长期维持真空尖性能。 用途：电子工业，化学纤维药品工业，金属工业，汔车工业等。